MS-2000 XYZ電動ステージは、Applied Scientific Instrumentation (ASI)社)製で、既存の光学顕微鏡に
取り付けることが可能な高精度の電動ステージコントローラーです。
高解像度ロータリーエンコーダー採用のクローズドループDCサーボモーターにより高い繰り返し精度を提供します。
電動ステージの制御は専用のコントローラーによって行いますが、付属制御用ソフトウェアにより
RS-232もしくはUSB接続にてPC上から制御することが可能です。

・ クローズドループDCサーボ・コントロールによる正確なポジショニングおよび高い再帰性能
・ XY座標ジョイスティックコントローラーの加速度コントロールによるすばやいポジショニング
・ 信頼性の高いASI社製のZ軸ドライブを使用
・ マニュアル/自動ワンタッチ切替　Z軸クラッチスイッチによりZ軸制御（マニュアル&モーター制御）を
    ワンタッチで切り替え
・ バックライト LCDディスプレイ上に、X、YおよびZ軸の各座標を表示
・ 単純なスタンドアローン操作のための「ゼロ」ポジション設定ボタンおよび「ホーム」ボタン
・ コンパクトなエルゴノミクスサイズの専用コントローラー（6"D x 9"W x3"H）
・ RS-232およびUSBインターフェイス内蔵
・ 多くのポピュラーなパッケージ・ソフトに対応

XY軸ストローク	100 mm x 100 mm
XY軸分解能	0.083 μm
XY軸再現性	< 0.7 μm
XY軸最大移動速度	7 mm/sec
Z軸分解能	0.05 μm
Z軸再現性	± 0.1 μm
Z軸最大移動速度	0.6 mm/sec

・ 高精度なポジショニングおよびフォーカシング制御のためのXYZ軸リニアエンコーダー
・ マイクロマニピュレータ等を取り付けるための大型ステージトッププレート
・ さらなる追加アタッチメントのためのステージウイング
・ オートフォーカスモジュール
・ 異なるピッチの送りねじ

ピッチ	ロータリーエンコーダースケール	最高速度
12.70 mm	176 nm	14 mm/秒
6.35mm (スタンダード)	88 nm	7 mm/秒
1.57 mm	22 nm	1.75 mm/秒
0.318 mm	4.4 nm	0.35 mm/秒

軸	解像度	スケール精度
XY	20 nm	0.0025 μ/mm
Z (12mmおよび25mmストローク)	50 nm	0.025 μ/mm

MS-2000付属の制御用アプリケーション「Motion-XYZ」ではRS-232 もしくはUSB接続によりPC上からXYZ軸の制御、XY座標値の制御、 任意地点へのすばやい移動およびステップ移動など、検鏡作業効率の 向上に欠かせない機能を持っています。 Motion-XYZの主な機能 ・ XY軸の制御（絶対座標、移動距離） ・ XYZ軸の座標位置計測 ・ 任意距離、任意範囲のステップ移動 ・ 直感的にステージを操作することができるマウスコントロール機能 ・ レンズの視野数に応じた、自動ステップ移動機能 ・ XYステージの各種パラメータ設定 ・ ジョイスティックのパラメータ設定