サイトマップ

Nihon Binary

トップページ > 製品・ソリューション案内 > 精密測定機器 > ナノテク3次元計測 > Optomoscope

Optomoscope

概要

Optomoscopeはスイス政府が支援する研究機関CSEMから2005年に独立したHeliotis社の製品です。 Heliotis社はナノテクを駆使して幅広く3次元測定を開発しています。 Optomoscopeは最大3.8mm x 3.2mmの広領域を、1秒間に10フレームの3次元画像として取り込むことのできるリアルタイム3Dマイクロスコープです。 撮像素子にHeliotis社が独自に開発した"Smart Pixel"CMOSセンサを採用、ユニークなpOCTイメージングによって、鮮明なリアルタイム3D画像の高速取り込みを実現しています。断層および形状データをサブミクロンの高分解能で取得することができます。 経時変化する対象や動的なサンプルでも、3D形状を正確に取り込みます。 比較的浅い測定深度を高分解能で取り込むM1モデルと、最大深度50mmまでに対応するN2モデルの2機種が用意されており、M2モデルはシステム組込やカスタム化のためにヘッドのみの提供も可能です。


pOCTイメージングテクノロジー

Parallel Optical low-Coherence Tomography(pOCT)は、様々な物体の形状や構造をマイクロメートル以下の空間分解能で取り込むことができる高速3次元イメージング技術です。測定サンプルに反射して戻った低コーヒレント光と、リファレンスミラーからの反射光によって作られる光干渉を処理することで、深度情報を導き出します。Heliototis社のユニークで全く新しいアプローチは、独自に開発したCMOSエリアセンサを用いている点です。
このエリアエリアセンサは各素子が受ける光信号を並列に処理することができ(Smart Pixel技術)、リファレンスミラーを動かすだけで対象全体をスキャンし、完全な3次元断層をリアルタイムで生成します。
pOCT法は、拡散表面を持つ対象物であれば内部構造を測定することも可能です。一般の顕微鏡と異なり、pOCTにおける深度分解能は横分解能とは独立しているため、広い視界を持ちながら高い深度分解能を実現しています。


OCT viewer ソフトウェア

3Dマイクロスコープに付属する専用ソフトウェアOCT viewerは、リアルタイム3Dデータ取り込みのために必要なあらゆる機能を直感的で使いやすい操作方法で提供します。
・リアルタイムデータ取り込み
・表面およびボリューム画像表示(拡散および反射面)
・3Dボリュームデータのトリミング等の編集
・断層データの深度切り出し画像
・データエクスポート:Matllab、その他3D視覚化アプリケーション


Heliotis社

Heliotis社はスイスCSEM(Centre Suisse d'Electonique et de Microtechnique)のスピンオフとして2005年に設立されました。従来のOCT技術を用いた製品は、眼科を中心としたバイオメディカルの分野でここ数年使用されていますが、Heliotis社はpOCTと名付けた独自の技術によって、リアルタイムでの3次元イメージングを可能にしました。その核となるのが、同社が特許を持つSmart Pixel技術によるCMOS 2Dアレイセンサです。Heliotis社ではこのコアテクノロジーを用いたカスタマイズシステムを柔軟に構築するために、Smart Pixelセンサをモジュール化したLock-In Cameraを提供しています。例えば生産ラインでの3D形状のインライン計測などの用途に用いることが可能となります。



アプリケーション例

SAMボードおよびダイボンド/ワイボンドの検査

接着剤のオンラインモニタリング

ラボラトリーオートメーションでの容積測定

マイクロメカニクス切片の品質管理

接合部や接着ボンドの検査

射出成型部品の品質管理

測定例



仕様

モデル M1 M2
測定方式 pOCT(parallel Optical low-Coherence Tomography)
平行光波低コヒーレンス断層映像法
画像取り込みレート 5000 fps、秒あたり最大10枚の3Dフレーム
取得画像 光強度、表面、3Dボリューム、形状データ
光源 SLED、820 nm
ステージベース グラフナイト定盤 AI 7022テーブル(オプション:マニュアル2または3軸ステージ、ソフトウェア制御による電動2または3軸ステージ)
対物レンズ倍率 2.5×、10×、40×、80×
測定範囲 最大3.8mm × 3.2mm ~ 0.2mm × 0.2mm
垂直分解能 <2μm <5μm
垂直測定範囲 <2.0 mm <50.0 mm
作動距離 0.6 mm ~ 9.3mm
対物レンズ取付 リボルバー式 カートリッジ式
筐体 防塵保護
冷却 自然対流
制御用パソコン インテルP-DUAL 950プロセッサ(3.4 GHz)、Apacer DDR2 2GB、PC-5300、Windows XP Pro、USB 2.0インターフェイス
付属ソフトウェア 専用ソフトウェアOCT viewer静止画、連続画、AVI動画、観察機能、高さの定量測定C ++、Delphi、Visual Basic、Matlab用開発環境
電源電圧 100 ~ 240 V AC
消費電力 350 W (制御用パソコン含む)
外形寸法 L 420mm ×W 250mm× H 440mm L 205mm× W 124mm× H 196mm(ヘッド部のみ)
重量 35 kg 2.8 kg(ヘッド部のみ)