OP/CL シリーズはSTIL社製の波長コンフォーカル
方式小型軽量ペンです。
簡単にリアルタイム出力でき表面微細形状測定に
最適です。

汎用性と実績を誇るOP300VMを中心とした単一鏡簡タイプ

型名	OP020	OP300VM	OP3000	OP10000	OP24000
測定範囲（Z軸）(1)	20	300μm	3mm	10mm	24mm
作動距離	0.37mm	5mm	26.9mm	66.9mm	223mm
Z軸分解能(2)(3)	2nm	10nm	100nm	300nm	1500nm
Z軸精度(4)	10nm	90nm	600nm	900nm	3000nm
最大傾斜角度(5)	±48	±25°	±12°	±12°	±5°
リファレンスプレート対応(6)	-	-	○	○	○
90°曲げオプション対応	-	○	○	○	○
測定スポット径	3μm	8μm	25(12)μm	51(23)μm	100(45)μm
横分解能	1.5μm	4μm	12.5(6)μm	25.5(11.5)μm	50(22.5)μm
最小測定可能厚さ(7)	12μm	25μm	220μm	425μm	1570μm
長さ	190.8mm	127mm	218mm	189mm	172.5mm
直径	29.5mm	15mm	38mm	50mm	59mm
重量	380g	25g	360g	640g	360g
注）測定スポット径と横分解能のカッコ内の値は20ミクロン径ファイバーケーブル使用時

優れたモジュラー性により柔軟なシステム組込の可能性を提供

型名	OP020	OP300VM	OP3000	OP10000	OP24000
測定範囲（Z軸）(1)	20	300μm	3mm	10mm	24mm
作動距離	0.37mm	5mm	26.9mm	66.9mm	223mm
Z軸分解能(2)(3)	2nm	10nm	100nm	300nm	1500nm
Z軸精度(4)	10nm	90nm	600nm	900nm	3000nm
最大傾斜角度(5)	±48	±25°	±12°	±12°	±5°
リファレンスプレート対応(6)	-	-	○	○	○
90°曲げオプション対応	-	○	○	○	○
測定スポット径	3μm	8μm	25(12)μm	51(23)μm	100(45)μm
横分解能	1.5μm	4μm	12.5(6)μm	25.5(11.5)μm	50(22.5)μm
最小測定可能厚さ(7)	12μm	25μm	220μm	425μm	1570μm
長さ	190.8mm	127mm	218mm	189mm	172.5mm
直径	29.5mm	15mm	38mm	50mm	59mm
重量	380g	25g	360g	640g	360g
注）測定スポット径と横分解能のカッコ内の値は20ミクロン径ファイバーケーブル使用時

手持ちでの測定も可能な膜圧測定専用の光学ペン

型名 OPILB 測定厚さ 2～100μm 作動距離 42mm Z軸分解能(3) 10nm Z軸精度(4) 100nm 最大傾斜角(5) ±7° リファレンスプレート対応(6) - 90°曲げオプション対応 - 測定スポット径 20μm 横分解能 10μm 長さ 89mm 直径 15mm 重量 30g

(1)CHR-150コントローラ使用の場合
(2)ただし、高さ測定モードの場合
(3)厚さ測定モードでのZ軸分解能はRth=n*Rd にて算出される。 (Rd=高さ測定モードでのZ軸分解能、Rth=厚さ測定モードでの Z軸分解能、n=測定対象物の屈折率)
(4)ただし、高さ測定モードの場合、厚さ測定モードでの精度は、測定対象物の特性（材質や厚み）による。
(5)測定対象物が鏡面の場合、拡散表面の場合の許容傾斜角度は87°
(6)リファレンスプレートは測定領域内で絶対参照面として機能し、XYステージの機械的なブレを補正する。
(7)厚さ測定モードの場合は測定対象物の屈折率の入力が必須。ここでの値はBK7ガラス(n=1.5)の場合
(8)クロマテックとマグニファイモジュールを組合せた全長。