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Nihon Binary

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光学ペン OP/CL シリーズ

概要

MICROMESURE、Nanostation 2000、CHR、CCS に共通の小型軽量ペンで波長コンフォーカル方式のSTIL社光学ペンです。
簡単にリアルタイム出力でき表面微細形状測定に最適です。


クラシカルペン

汎用性と実績を誇るOP300VMを中心とした単一鏡簡タイプ


型名 OP020 OP300VM OP3000 OP10000 OP24000
測定範囲(Z軸)(1) 20 300μm 3mm 10mm 24mm
作動距離 0.37mm 5mm 26.9mm 66.9mm 223mm
Z軸分解能(2)(3) 2nm 10nm 100nm 300nm 1500nm
Z軸精度(4) 10nm 90nm 600nm 900nm 3000nm
最大傾斜角度(5) ±48 ±25° ±12° ±12° ±5°
リファレンスプレート対応(6) - -
90°曲げオプション対応 -
測定スポット径 3μm 8μm 25(12)μm 51(23)μm 100(45)μm
横分解能 1.5μm 4μm 12.5(6)μm 25.5(11.5)μm 50(22.5)μm
最小測定可能厚さ(7) 12μm 25μm 220μm 425μm 1570μm
長さ 190.8mm 127mm 218mm 189mm 172.5mm
直径 29.5mm 15mm 38mm 50mm 59mm
重量 380g 25g 360g 640g 360g
注)測定スポット径と横分解能のカッコ内の値は20ミクロン径ファイバーケーブル使用時



モジュラーペン

優れたモジュラー性により柔軟なシステム組込の可能性を提供


型名 OP020 OP300VM OP3000 OP10000 OP24000
測定範囲(Z軸)(1) 20 300μm 3mm 10mm 24mm
作動距離 0.37mm 5mm 26.9mm 66.9mm 223mm
Z軸分解能(2)(3) 2nm 10nm 100nm 300nm 1500nm
Z軸精度(4) 10nm 90nm 600nm 900nm 3000nm
最大傾斜角度(5) ±48 ±25° ±12° ±12° ±5°
リファレンスプレート対応(6) - -
90°曲げオプション対応 -
測定スポット径 3μm 8μm 25(12)μm 51(23)μm 100(45)μm
横分解能 1.5μm 4μm 12.5(6)μm 25.5(11.5)μm 50(22.5)μm
最小測定可能厚さ(7) 12μm 25μm 220μm 425μm 1570μm
長さ 190.8mm 127mm 218mm 189mm 172.5mm
直径 29.5mm 15mm 38mm 50mm 59mm
重量 380g 25g 360g 640g 360g
注)測定スポット径と横分解能のカッコ内の値は20ミクロン径ファイバーケーブル使用時



インターフェロメトリックペン(厚さ測定専用)

手持ちでの測定も可能な膜圧測定専用の光学ペン


型名 OPILB
測定厚さ 2~100μm
作動距離 42mm
Z軸分解能(3) 10nm
Z軸精度(4) 100nm
最大傾斜角(5) ±7°
リファレンスプレート対応(6) -
90°曲げオプション対応 -
測定スポット径 20μm
横分解能 10μm
長さ 89mm
直径 15mm
重量 30g



(1)CHR-150コントローラ使用の場合
(2)ただし、高さ測定モードの場合
(3)厚さ測定モードでのZ軸分解能はRth=n*Rd にて算出される。 (Rd=高さ測定モードでのZ軸分解能、Rth=厚さ測定モードでの Z軸分解能、n=測定対象物の屈折率)
(4)ただし、高さ測定モードの場合、厚さ測定モードでの精度は、測定対象物の特性(材質や厚み)による。
(5)測定対象物が鏡面の場合、拡散表面の場合の許容傾斜角度は87°
(6)リファレンスプレートは測定領域内で絶対参照面として機能し、XYステージの機械的なブレを補正する。
(7)厚さ測定モードの場合は測定対象物の屈折率の入力が必須。ここでの値はBK7ガラス(n=1.5)の場合
(8)クロマテックとマグニファイモジュールを組合せた全長。