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NanoStation 2000

概要

NanoStation 2000 は波長コンフォーカル方式の非接触3次元形状計測システムで、ナノテクノロジー(ナノテク)を駆使したシステムであり、最高2ナノメートルの高分解能で物体表面の高さ測定を行う事が出来ます。表面欠損検査には最適のシステムです。
微小形状、表面粗さ、組織解析といった高さ計測をはじめ、薄幕やガラスなどの厚さ計測や表面欠損、異物検査などの用途にも最適な多目的な小型スコープ計測システムです。
波長コンフォーカル方式の特徴のひとつとして、基本的に光を反射する物体であればあらゆる対象物の測定が可能です。
鏡面や光沢面といった従来の方式では困難とされていた対象をはじめ、透明体、不透明体、反射物・拡散表面、後方積乱面を問わず計測が可能です。
このため、金属やガラス、プラスチック、合成樹脂、木材、紙、繊維、皮革など、さまざまな材質の測定に使用する事が出来ます。

NanoStation 2000は、光源と分光・制御部を収めたコントローラ、測定深度20μmあるいは300μmの光学ペン、コンパクトなXYステージ、そして使いやすいソフトウェアを搭載したWindowsパソコンで構成されています。
システムの核となるコントローラと光学ペンは、最高1kHzの測定周波数でのリアルタイム計測が可能で、オプションで最高30kHzへの対応が出来ます。 また、特別な用途のために、最大24mmまでの測定深度を持つ光学ペンも用意されています。
XYステージは顕微鏡用の高精度電動ステージを採用、小型ながら高分解能ステップと反復性を実現、コンパクトな制御ユニットはステージ移動に便利なジョイスティックを備えています。
さらにオプションのCCDカメラを搭載することで、ビデオ映像による位置決めを行う事が出来ます。
システムに含まれるソフトウェアはSPIP画像解析ソフトウェアのプラグイン形式になっていますので、測定データの保存や画像処理・可視化が簡単に多用な形式でおこなうことが出来ます。


波長コンフォーカル方式計測原理


専用ソフトウェア NS Map

WindowsXP Professional対応:SPIP画像処理ソフトウェア用プラグイン

測定条件設定

データ保存:ASCII、Bitmap、JPEG、TIFFなど

傾き補正、プロファイル作成、3D表示など

粗さ解析など各種オプションモジュール

仕様

NanoStation 2000/20 NanoStation 2000/300
測定深度 20μm 300μm
作動距離 0.37mm 5mm
Z軸分解能 2nm 10nm
Z軸精度 10nm 90nm
測定スポット径 3μm 8μm
測定周波数(最高) 1000Hz 1000Hz
光源 50W ハロゲン 50W ハロゲン
電源 85~240VAC、 50/60Hz 85~240VAC、50/60Hz
消費電力 100W 100W
XY軸 移動範囲 100mm×100mm 100mm×100mm
XY軸 分解能 1.5μm 1.5μm
XY軸 移動速度 7mm/秒 7mm/秒
Z軸 稼動範囲(手動) 80mm 80mm