波長コンフォーカル方式 非接触3次元形状計測システム
NanoStation 2000

NanoStation 2000は波長コンフォーカル方式の
非接触3次元形状計測システムで、ナノテクノロジー
を駆使したシステムであり、最高2ナノメートルの
高分解能で物体表面の高さ測定を行う事ができる
表面欠損検査には最適のシステムです。



特徴

NanoStation 2000は微小形状、表面粗さ、組織解析といった高さ計測をはじめ、薄幕やガラスなどの厚さ計測や表面欠損、
異物検査などの用途にも最適な多目的な小型スコープ計測システムです。
波長コンフォーカル方式の特徴のひとつとして、基本的に光を反射する物体であればあらゆる対象物の測定が可能です。
鏡面や光沢面といった従来の方式では困難とされていた対象をはじめ、透明体、不透明体、反射物・拡散表面、後方積乱面を
問わず計測が可能です。このため、金属やガラス、プラスチック、合成樹脂、木材、紙、繊維、皮革など、さまざまな材質の
測定に使用する事が出来ます。

システム構成

NanoStation 2000は、光源と分光・制御部を収めたコントローラ、測定深度20μmあるいは300μmの光学ペン、コンパクト
なXYステージ、そして使いやすいソフトウェアを搭載したWindowsパソコンで構成されています。
システムの核となるコントローラと光学ペンは、最高1kHzの測定周波数でのリアルタイム計測が可能で、オプションで最高
30kHzへの対応が出来ます。 また、特別な用途のために、最大24mmまでの測定深度を持つ光学ペンも用意されています。
XYステージは顕微鏡用の高精度電動ステージを採用、小型ながら高分解能ステップと反復性を実現、コンパクトな制御ユニット
はステージ移動に便利なジョイスティックを備えています。
さらにオプションのCCDカメラを搭載することで、ビデオ映像による位置決めを行う事が出来ます。
システムに含まれるソフトウェアはSPIP画像解析ソフトウェアのプラグイン形式になっていますので、測定データの保存や
画像処理・可視化が簡単に多用な形式でおこなうことが出来ます。

波長コンフォーカル方式計測原理



専用ソフトウェア NS Map

・WindowsXP Professional対応:SPIP画像処理ソフトウェア用プラグイン
・測定条件設定
・データ保存:ASCII、Bitmap、JPEG、TIFFなど
・傾き補正、プロファイル作成、3D表示など
・粗さ解析など各種オプションモジュール


技術仕様

NanoStation 2000/20NanoStation 2000/300
  測定深度20μm300μm
  作動距離0.37mm5mm
  Z軸分解能2nm10nm
  Z軸精度10nm90nm
  測定スポット径3μm8μm
  測定周波数(最高)1000Hz1000Hz
  光源50W ハロゲン50W ハロゲン
  電源85~240VAC、 50/60Hz85~240VAC、50/60Hz
  消費電力100W100W
  XY軸 移動範囲100mm×100mm100mm×100mm
  XY軸 分解能1.5μm1.5μm
  XY軸 移動速度7mm/秒7mm/秒
  Z軸 稼動範囲(手動)80mm80mm