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Nihon Binary

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MICROMESURE

概要

MICROMESUREは、フランスSTIL社が開発した波長コンフォーカル方式で、あらゆる材質に適応し1nmの精度で計測できる3次元非接触表面形状計測システムです。ナノテクノロジー(ナノテク)3D測定の頂点にたつシステムです。


主な用途

微小形状測定

形状解析及び材質解析

表面粗さ測定

精密機械加工品管理

薄膜・塗料の厚さ測定

工業表面試験

バイオ関連試験表面解析

測定

Z軸:分解能:最大1nm、移動範囲:最大3mm

X-Y軸:分解能:最大0.1μm、移動範囲:最大100mm

構成

1. CHR-150 光学ペン
2. XYZ 3軸ステーション
3. ソフトウェア(制御・計測及び表面形状・解析用)
4. 制御用コンピュータ
5. パワーコントローラ
6. 光学ペン (オプション):分解能1nm~300nmまで用途に応じて多数用意

光学ペン (オプション) 一覧

  コンフォーカルモード インターフェロメトリック
測定深度 20μ 80μ 300μ 350μ 3mm 10mm 2μ~100μm
被写体距離 0.6mm 2.1mm 4.5mm 12mm 38mm 65mm 35mm/td>
Z軸分解能 1nm 3nm 10nm 10nm 100nm 300nm 10nm/td>
精度 10nm 30nm 0.1μm 0.1μm 1μm 1μm 10nm/td>
スポット径 1μm 2μm 2μm 3μm 15μm *1 10μm 20μm
側面分解能 0.5μm 1μm 2μm 0.751μm 5μm 25μm 10μm
開口数 0.69 0.57 0.5 0.5 0.26 0.17 0.12
最大角傾斜(±) *2 44° 35° 30° 30° 15° 10°



*1:コア径10μmの光ファイバー使用時  *2:鏡反射面での値。散乱反射面の場合、最大傾斜角は70~80°に及ぶ。

CHR-150 光学センサー仕様

光源 ハロゲン球(50W)
サンプリング周波数 30、100、300及び1000Hz
データ処理 内蔵ボード
リニアリティ <±0.1%
アナログ出力 0 ~ 10V
デジタル出力 RS232
電源 100~230VAC、50/60HZ、100W
寸法 115 x 260 x 320mm(H x W x D)
重量 5.4 kg



XYZ 3軸ステーション仕様

XY軸可動範囲 100 mm
Z軸可動範囲 50 mm
XY軸分解能 <0.1μm
Z軸分解能 <0.01μm
XY軸最大駆動速度 20mm/sec
寸法 600 x 600 x 600mm(H x W x D)
重量 60 kg



パワーコントローラ仕様

コントロール数 3軸
電源 100~230VAC、50/60Hz、100W
寸法 160 x 365 x 320mm(H x W x D)
重量 5.6 kg



ソフトウェア/コンピュータ

制御及び計測用ソフトウェア SurffaceMap
表面形状処理・解析用ソフトウェア MountainsMap
制御用コンピュータ Windows XP