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M3 Optical Profiler

概要

M3 Optical Profiler は、3D技術の先端を行くスイスHeliotis社によって開発、製品化された3次元形状システムです。 ナノテクを駆使したリアルタイム3Dマイクロスコープで、コーププリント基板、金属、生物、溶媒等の表面の分析測定用に設計されています。 Heliotis社が独自にに開発した「smart pixel CMOSセンサ」と「Parallel Optical Coherence Tomography技術」とによって物体表面を早く正確に測定できます。 「In-depth-visionTM」の製品として正確、迅速、高信頼、低コストでユーザーの要求にお応えしています。



応用分野

エレクトロ二クス先端技術
プリント基板
CSPsとマイクロBGAsによってプリント基板の搭載密度を上げてきていますが、そのサイズが小さくなるにつれてハンダ付けの信頼性がに欠けてきます。表面形状の画像をはきりと、モニタにSPCで静止画を素早く映し出すという3D描写技術の進歩が、ハンダの高さと量の信頼できるデータがとれるようになりました。
同様に、物質表面の凹凸をより正確に、より小さくトレースしたいと云う要求が高まっています。 実際の3D測定で信頼できるデータをとり製造工程にフィードバックすることができます。
マイクロメカニクス微細光学
金属表面縞
小型化した革新的な製品を低コストでお届け致します。MEMSや顕微鏡などの装置はその独自技術の進歩で多くの生産工程で使用されています。その寸法はμmのレベルまで下がり、従来の観察装置では正確な3次元情報を得ることは特別なことが必要となってきています。
M3は観察者に正確な3次元情報を、1つのパラメータセットとして、また3次元深断層として深さ情報を素早く得ることができます。
M3は殆ど全ての物質(反射物・塗布物)を対象物を調べるのに、何の予備操作をすることなしに測定できます。
生命科学
ハエの頭
M3は多くの位相数字と高解像度のバイオサンプルの断層写真を提供します。
p-OCT原理に基ずく、非イオン光線かそれに近い赤外線による、非破壊・非接触の測定です。
電子マイクロスコープのスキャンでサンプルは皮膜処理や真空にする必要はありません。
M3はバイオサンプルの特性を迅速に得られるだけでなく3Dデータも提供します。
討議と完全解明
オイル塗布
専門的な議論で真の3D映像の観察が提起されてます。
Heliotis社のテクノロジーは、今迄の2Dシステムを超える特別な方法で、悪い画面と比較するカートリッジケースを使用しています。
加えて詳細な3Dメトロジーは模造と偽造を見つける装置です。
これはマイクロ3Dによる生産品の革新の可能性を多く秘めています。M3はそれを実現する完全なツールです。



仕様

測定部
3Dセンサ smart pixel sensor pOCT3 (占有権あり) (pixel内で1 miion 2Dスライス/秒以上の信号処理)
2Dカメラ サンプルじょうでの画像オンラインビューをサポート
光源 標準:スーパールミネッセンス発光ダイオード     (λcenter = 800 nm、Δλ = 40 nm、Poptical = 8 mW) オプション: 高解像度ブルーLED
測定範囲 0.6 x 0.6 mm (標準)
NA 0.4 (標準)
動作距離 2.8 mm (標準)
垂直解像度 1 μm (標準)
水平解像度 2 μm (標準)
スキャン部
Z軸 20 mm (垂直スキャン範囲) 100 nm 解像度 50 mm/秒 以上
XY軸 134 x 85 mm (移動範囲) 1 μm 解像度 (100 nm 光学) 100 mm/秒 以上
プルーブホルダー テーブル離脱着、標準及びカスタムデザイン可
ソフトウェア
グラフィカルユーザー
インターフェイス
システムの構成と制御 2Dオンラインナビゲーション 3D地形と輪郭のグラフィック描画 データ処理と分析 データ管理と保存 測定作業の自動化(処理方法)
アプリケーションプログラミング
インターフェイス
C++、Python、LabView 8.x (スキャナー制御、3Dカメラ構成と読み込み、データ処理アリゴリズム)



Parallel Optical Coherence Tomography(OCT)技術

OCTの原理は超音波イメージングと似ていますが、音の代わりに光を使用します。測定サンプルは低コヒーレンス光で照射されます。サンプルに反射して戻ってきた光はあらかじめ深度情報を持ったリファレンス光と重ね合わせ、その干渉を読み取ります。
これはHeliotis社の「smart pixel技術」と呼ばれるもので、各素子が受ける光信号を並列に処理できるCMOS 2Dアレイセンサ技術で実現しました。
イメージセンサの各素子はリアルタイムに信号処理できるよう電気回路上に配置されています。
リファレンスミラーを動かしサンプル全体をスキャンし、完全な3次元断層と形状を得ることができます。

Parallel OCT の基本構成図 pixel snsor