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Nihon Binary

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CHR-150

概要

フランスSTIL社が世界で初めて実現した波長コンフォーカル方式の非接触3次元表面形状測定システムです。 光沢面・拡散面、不透明・透明、剛体・軟体等多様な測定対象の3次元形状と厚さを最高2ナノメートルの分解能で高精度測定できます。


主な特徴

あらゆる材料・材質に対応

測定試料の前準備が一切不要

測定点データのリアルタイム出力

多用途で使える柔軟性


主な用途

表面微細形状測定

微小欠点・キズ測定

表面粗さ測定

マイクロトポグラフィ

変位検出

振動測定

インライン検査

品質管理

厚さ測定

ギャップ測定

システム構成


コントローラ

型名 CHR-150
最大測定周波数 1000 Hz
光源 50W ハロゲン
データ処理 DSPボード
デジタル出力 RS232
アナログ出力 0~10 V (×2)
マルチチャンネル対応 2および4
電源 85~240 V、50/60 Hz
消費電力 100 W
温度 5℃~50℃
湿度 5%~80%
重量 3.4 Kg>
外形寸法 235(幅) x 316(奥行) x 96(高さ)mm



光学ペン

・クラシカルペン
汎用性と実績を誇るOP300VMを中心とした単一鏡簡タイプ


型名 OP020 OP300VM OP3000 OP10000 OP24000
測定範囲(Z軸)(1) 20 300μm 3mm 10mm 24mm
作動距離 0.37mm 5mm 26.9mm 66.9mm 223mm
Z軸分解能(2)(3) 2nm 10nm 100nm 300nm 1500nm
Z軸精度(4) 10nm 90nm 600nm 900nm 3000nm
最大傾斜角度(5) ±48 ±25° ±12° ±12° ±5°
リファレンスプレート対応(6) - -
90°曲げオプション対応 -
測定スポット径 3μm 8μm 25(12)μm 51(23)μm 100(45)μm
横分解能 1.5μm 4μm 12.5(6)μm 25.5(11.5)μm 50(22.5)μm
最小測定可能厚さ(7) 12μm 25μm 220μm 425μm 1570μm
長さ 190.8mm 127mm 218mm 189mm 172.5mm
直径 29.5mm 15mm 38mm 50mm 59mm
重量 380g 25g 360g 640g 360g
注)測定スポット径と横分解能のカッコ内の値は20ミクロン径ファイバーケーブル使用時



・モジュラーペン
優れたモジュラー性により柔軟なシステム組込の可能性を提供


型名 OP020 OP300VM OP3000 OP10000 OP24000
測定範囲(Z軸)(1) 20 300μm 3mm 10mm 24mm
作動距離 0.37mm 5mm 26.9mm 66.9mm 223mm
Z軸分解能(2)(3) 2nm 10nm 100nm 300nm 1500nm
Z軸精度(4) 10nm 90nm 600nm 900nm 3000nm
最大傾斜角度(5) ±48 ±25° ±12° ±12° ±5°
リファレンスプレート対応(6) - -
90°曲げオプション対応 -
測定スポット径 3μm 8μm 25(12)μm 51(23)μm 100(45)μm
横分解能 1.5μm 4μm 12.5(6)μm 25.5(11.5)μm 50(22.5)μm
最小測定可能厚さ(7) 12μm 25μm 220μm 425μm 1570μm
長さ 190.8mm 127mm 218mm 189mm 172.5mm
直径 29.5mm 15mm 38mm 50mm 59mm
重量 380g 25g 360g 640g 360g
注)測定スポット径と横分解能のカッコ内の値は20ミクロン径ファイバーケーブル使用時



・インターフェロメトリックペン(厚さ測定専用)
手持ちでの測定も可能な膜圧測定専用の光学ペン


型名 OPILB
測定厚さ 2~100μm
作動距離 42mm
Z軸分解能(3) 10nm
Z軸精度(4) 100nm
最大傾斜角(5) ±7°
リファレンスプレート対応(6) -
90°曲げオプション対応 -
測定スポット径 20μm
横分解能 10μm
長さ 89mm
直径 15mm
重量 30g



(1)CHR-150コントローラ使用の場合
(2)ただし、高さ測定モードの場合
(3)厚さ測定モードでのZ軸分解能はRth=n*Rd にて算出される。 (Rd=高さ測定モードでのZ軸分解能、Rth=厚さ測定モードでの Z軸分解能、n=測定対象物の屈折率)
(4)ただし、高さ測定モードの場合、厚さ測定モードでの精度は、測定対象物の特性(材質や厚み)による。
(5)測定対象物が鏡面の場合、拡散表面の場合の許容傾斜角度は87°
(6)リファレンスプレートは測定領域内で絶対参照面として機能し、XYステージの機械的なブレを補正する。
(7)厚さ測定モードの場合は測定対象物の屈折率の入力が必須。ここでの値はBK7ガラス(n=1.5)の場合
(8)クロマテックとマグニファイモジュールを組合せた全長。

光ファイバーケーブル

スタンダードメタル
 スタンダード メタルシールド
50μm径 2、3、4、10m 2、3、4、10m
20μm径 2m 4、10m